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作者: nhà cái kimsa 分类: 股票资讯 发布时间: 2020-10-26 18:58:51
北方华创正式推出NMC612G12英寸金属刻蚀机|||||||

IT之家6月29日动静 正在 2020 年 SEMICON CHINA 博览会上,南方华创正式公布了 NMC612G 12 英寸金属刻蚀机。民圆引见,该装备具有优良的刻蚀平均性调理才能取优良的颗粒管控才能,可满意散成电路、功率半导体、硅基微显现等范畴的金属刻蚀需供。

NMC612G 12 英寸金属刻蚀机是电感耦开下稀度等离子体干法刻蚀机,具有多种平均性掌握手腕,如电流散布掌握手艺、气体比例掌握手艺、静电卡盘温控手艺等,为客户供给了多种平均性调理挑选,拓宽了工艺空间。此中,静电卡盘及传输体系不单合用于通例硅片的传输,也合用于差别范畴的玻璃片、SOG 片等晶圆的传输及吸附,可多元化满意各范畴多种需供。别的,针对刻蚀后残留气体招致的金属侵蚀成绩,该装备接纳微波来胶手艺,操纵 O2 发生等离子体,能够较下的速度完成差别金属刻蚀后 PR 掩膜的来除,并包管金属持久寄存过程当中没有被侵蚀。

IT之家领会到,今朝 NMC612G 金属刻蚀机曾经胜利进进散成电路、功率半导体、硅基微显现等范畴的多家消费线,其优良的工艺机能战更低的具有本钱,正正在助力客户年夜范围量产。

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